來(lái)源：中國新聞周刊

　　最近，來(lái)了國內一家半導體設備廠(chǎng)商可謂吊足了公眾的中國胃口。

　　這家名為深圳市新凱來(lái)技術(shù)有限公司（下稱(chēng)“新凱來(lái)”）的芯片企業(yè)成立于2021年，由深圳市國資委實(shí)控。黑馬在10月10日召開(kāi)的來(lái)了“2025灣區半導體產(chǎn)業(yè)生態(tài)博覽會(huì )”新聞發(fā)布會(huì )上，深圳市發(fā)展改革委主任郭子平曾提及新凱來(lái)及其子公司，中國表示“每一個(gè)子公司在這次的芯片展會(huì )中都會(huì )讓大家有意想不到的驚喜，請允許我賣(mài)個(gè)關(guān)子”。黑馬這一度引發(fā)外界關(guān)于新凱來(lái)會(huì )否推出光刻機的來(lái)了猜測。

　　新凱來(lái)進(jìn)入公眾視線(xiàn)可以追溯到半年前，中國今年3月底，芯片新凱來(lái)在上海半導體設備展推出包括刻蝕產(chǎn)品、黑馬擴散產(chǎn)品、來(lái)了薄膜產(chǎn)品及物理量測產(chǎn)品、中國X射線(xiàn)量測產(chǎn)品、芯片光學(xué)量檢測產(chǎn)品在內的6大類(lèi)31款半導體設備。當時(shí)公司相關(guān)負責人曾表示：“我們的工藝設備可以使用非光學(xué)技術(shù)來(lái)解決一些光刻問(wèn)題?！?/p>

　　外界期待的光刻機并未在此次博覽會(huì )亮相，不過(guò)從新凱來(lái)帶來(lái)的“驚喜”中仍然可以看到國內半導體設備產(chǎn)業(yè)鏈的突破。

　　驚喜是什么？

　　其實(shí)，新凱來(lái)從未對外宣布涉足光刻機業(yè)務(wù)，新凱來(lái)此次帶來(lái)的“驚喜”集中在示波器、EDA領(lǐng)域，這也與此前新凱來(lái)相關(guān)子公司的“預告”相符。

　　在此次博覽會(huì )期間，新凱來(lái)子公司萬(wàn)里眼正式發(fā)布超高速實(shí)時(shí)示波器。示波器是用來(lái)測量和顯示電信號波形的電子測試儀器，將肉眼看不到的電信號變換成看得見(jiàn)的圖像，萬(wàn)里眼CEO劉桑稱(chēng)其為“巨龍的眼睛”。

　　目前，高端示波器帶寬達到60GHz（千兆赫茲）以上，甚至高達上百GHz，但是國內示波器帶寬多在20GHz以下。受西方國家封鎖影響，中國無(wú)法向海外公司購買(mǎi)帶寬60GHz以上的示波器。

　　劉桑介紹，此次發(fā)布的示波器擁有90GHz的測試帶寬，可以面對112Gbps，甚至224Gbps的高速信號，清晰捕捉每一處波形細節，真實(shí)還原信號快速升降，加速光電領(lǐng)域芯片的研發(fā)迭代。這款產(chǎn)品可將國產(chǎn)示波器性能提升500%，實(shí)現多代產(chǎn)品的跨越，可應用于半導體行業(yè)、6G通信、光通信、智能駕駛等領(lǐng)域。

　　而新凱來(lái)旗下的另一家子公司啟云方發(fā)布了兩款自主研發(fā)的EDA。在半導體行業(yè)中，EDA是一系列從設計到制造的軟件工具的統稱(chēng)，涵蓋了功能設計、布線(xiàn)、驗證等環(huán)節。目前，新思科技（Synopsys）、楷登電子（Cadence）和西門(mén)子三家公司占據全球市場(chǎng)份額超過(guò)七成。

　　啟云方電子工程EDA BU（事業(yè)部）總裁袁夷介紹，無(wú)論是在功能還是性能方面，兩款EDA都跟業(yè)界標桿水平持平。據他介紹，國外的軟件基本是串行作業(yè)，而啟云方采用了并行作業(yè)的方式，可以讓100個(gè)工程師同時(shí)畫(huà)一張圖，極大地提升了工作效率。整體來(lái)看，通過(guò)這種軟件并行協(xié)同設計的模式可以將產(chǎn)品硬件開(kāi)發(fā)周期縮短40%。

　　袁夷表示，一些企業(yè)已經(jīng)在使用該產(chǎn)品，從客戶(hù)反饋來(lái)看，可平滑替換國外同類(lèi)軟件，歷史數據可以兼容。

　　國產(chǎn)設備多點(diǎn)突破

　　7nm（納米）及以下高端制程芯片的制造，普遍依賴(lài)荷蘭公司阿斯麥（ASML）制造高端芯片的EUV（極紫外）光刻機。因此提及半導體設備，外界習慣于聚焦光刻機。

　　目前，上海微電子裝備（集團）股份有限公司用于制造90納米芯片的干式DUV（深紫外）光刻機已經(jīng)實(shí)現量產(chǎn)，其28納米浸沒(méi)式DUV光刻機也進(jìn)入產(chǎn)品驗證階段，但EUV（極紫外）光刻機仍處于預研階段。

　　其實(shí)，半導體設備產(chǎn)業(yè)涉及眾多環(huán)節，新凱來(lái)子公司這次帶來(lái)的驚喜，雖然并非為外界所熟知的光刻機，但同樣在國產(chǎn)半導體設備的薄弱環(huán)節有新突破。

　　民生證券研報稱(chēng)，我國在去膠、清洗、刻蝕設備方面國產(chǎn)化率較高，在CMP、熱處理、薄膜沉積上近幾年國產(chǎn)化突破明顯，而在量測、涂膠顯影、光刻、離子注入等設備上，仍較為薄弱。

　　示波器就可以被歸入量測設備，在這一領(lǐng)域，國內廠(chǎng)商與國外廠(chǎng)商依然存在差距，比如為檢查每一步制造工藝后晶圓產(chǎn)品的加工參數是否達到設計要求或者存在影響良率的缺陷，就需要使用前道量檢測設備。有相關(guān)領(lǐng)域資深人士向《中國新聞周刊》解釋?zhuān)@需要納米級檢測，納米級相關(guān)設備基本被國外公司壟斷，國內公司處于起步階段，業(yè)內將這種頂級的光學(xué)檢測設備稱(chēng)為“小光刻機”，從光源、鏡頭等層面都需要依靠自主研發(fā)取得突破。

　　從新凱來(lái)今年數次帶來(lái)“驚喜”不難看出，國內半導體設備產(chǎn)業(yè)正在多點(diǎn)突破。

　　有國內半導體設備初創(chuàng )企業(yè)負責人告訴《中國新聞周刊》，2019年國內著(zhù)名半導體設備廠(chǎng)商中微公司上市，之后國內半導體設備產(chǎn)業(yè)開(kāi)始出現“翻天覆地”的變化，比如薄膜沉積領(lǐng)域的拓荊科技、微導納米等都在近年上市?！叭缃駠鴥劝雽w設備廠(chǎng)商不會(huì )再經(jīng)歷中微公司那樣比較長(cháng)的培育期，因為當時(shí)國產(chǎn)替代的市場(chǎng)還不成熟?！?/p>

　　這位負責人也是近年從美國歸國創(chuàng )業(yè)，他明顯感受到國內的追趕節奏在加快?！拔以诓┦慨厴I(yè)后進(jìn)入半導體設備行業(yè)，國外公司在擁有壟斷地位的情況下往往會(huì )細細打磨一款產(chǎn)品。但是國內半導體行業(yè)的做法是，一方面要跟上生產(chǎn)像28nm這樣成熟制程芯片所需的設備，另一方面也要同步突破生產(chǎn)先進(jìn)制程芯片所需的設備。這種‘并行’的策略提升了工作節奏，我自己也在適應?！?/p>

　　記者：陳惟杉（[email protected]）

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