光刻膠領(lǐng)域我國取得新突破
我要評論炒股就看金麒麟分析師研報，光刻權威，膠領(lǐng)專(zhuān)業(yè)，域國及時(shí)，新突全面，光刻助您挖掘潛力主題機會(huì )！膠領(lǐng)
來(lái)源：科技日報
據科技日報，域國光刻技術(shù)是新突推動(dòng)集成電路芯片制程工藝持續微縮的核心驅動(dòng)力之一。近日，光刻北京大學(xué)化學(xué)與分子工程學(xué)院彭海琳教授團隊及合作者通過(guò)冷凍電子斷層掃描技術(shù)，膠領(lǐng)首次在原位狀態(tài)下解析了光刻膠分子在液相環(huán)境中的域國微觀(guān)三維結構、界面分布與纏結行為，新突指導開(kāi)發(fā)出可顯著(zhù)減少光刻缺陷的光刻產(chǎn)業(yè)化方案。相關(guān)論文近日刊發(fā)于《自然·通訊》。膠領(lǐng)
“顯影”是域國光刻的核心步驟之一，通過(guò)顯影液溶解光刻膠的曝光區域，將電路圖案精確轉移到硅片上。光刻膠如同刻畫(huà)電路的顏料，它在顯影液中的運動(dòng)，直接決定電路畫(huà)得準不準、好不好，進(jìn)而影響芯片良率。長(cháng)期以來(lái)，光刻膠在顯影液中的微觀(guān)行為是“黑匣子”，工業(yè)界的工藝優(yōu)化只能靠反復試錯，這成為制約7納米及以下先進(jìn)制程良率提升的關(guān)鍵瓶頸之一。
為破解難題，研究團隊首次將冷凍電子斷層掃描技術(shù)引入半導體領(lǐng)域。研究人員最終合成出一張分辨率優(yōu)于5納米的微觀(guān)三維“全景照片”，一舉克服了傳統技術(shù)無(wú)法原位、三維、高分辨率觀(guān)測的三大痛點(diǎn)。
彭海琳表示，冷凍電子斷層掃描技術(shù)為在原子/分子尺度上解析各類(lèi)液相界面反應提供了強大工具。深入掌握液體中聚合物的結構與微觀(guān)行為，可推動(dòng)先進(jìn)制程中光刻、蝕刻和濕法清洗等關(guān)鍵工藝的缺陷控制與良率提升。
新浪聲明：此消息系轉載自新浪合作媒體，新浪網(wǎng)登載此文出于傳遞更多信息之目的，并不意味著(zhù)贊同其觀(guān)點(diǎn)或證實(shí)其描述。文章內容僅供參考，不構成投資建議。投資者據此操作，風(fēng)險自擔。相關(guān)文章
當地時(shí)間11月28日，巴基斯坦外交部發(fā)言人安德拉比在媒體吹風(fēng)會(huì )上指出，巴基斯坦與阿富汗之間的?；饏f(xié)議并非指戰爭或沖突狀態(tài)下交戰雙方實(shí)施的傳統?；?，其核心實(shí)質(zhì)是“阻止恐怖分子利用阿富汗領(lǐng)土在巴基斯坦境內2025-12-01
美特使稱(chēng)普京已同意烏克蘭獲“類(lèi)北約第五條款”安全保障
△威特科夫資料圖）當地時(shí)間8月17日，美國中東問(wèn)題特使威特科夫表示，美俄領(lǐng)導人15日會(huì )晤取得的重大進(jìn)展促使美國總統特朗普放棄了俄烏立即?；鸬脑V求，轉而致力于推進(jìn)一項更廣泛的和平協(xié)議。威特科夫當天在接受2025-12-01
[新浪彩票]足彩25100期盈虧指數：赫根坐和望贏(yíng)
盈虧指數：莊家盈虧動(dòng)態(tài)盡在掌握從莊家不輸錢(qián)說(shuō)起，通過(guò)發(fā)掘市場(chǎng)投注分布與莊家預先設置的概率之間的差異，觀(guān)察每場(chǎng)比賽莊家的盈虧情況，并且量化成指數形式。負數代表莊家盈利；正數代表莊家虧損。通常說(shuō)來(lái)，指數越2025-12-01
“3歲女童頭上插刀淡定就醫”引關(guān)注，最新進(jìn)展
澎湃新聞?dòng)浾?熊強近日，“云南3歲女童頭上插刀淡定就醫”的視頻在網(wǎng)上引發(fā)關(guān)注。8月17日，澎湃新聞從當地相關(guān)部門(mén)獲悉，經(jīng)醫護人員全力救治，刀體已第一時(shí)間取出。此外，經(jīng)公安機關(guān)介入調查，認定系意外事件，2025-12-01
伊朗足協(xié)11月28日宣布，因美國拒絕給伊朗足協(xié)代表團多名成員發(fā)放簽證，伊朗將抵制12月初在美國舉行的2026年男足世界杯抽簽儀式。據法新社報道，伊朗足協(xié)發(fā)言人說(shuō)，伊朗足協(xié)已告知國際足聯(lián)，美方不發(fā)放簽證2025-12-01
精選雙色球專(zhuān)家：劉洋華中126萬(wàn)!今年已2中2等
北京時(shí)間7月13日周日），今晚開(kāi)獎的數字彩玩法有主要有雙色球、快樂(lè )8、福彩3D和排列三等。專(zhuān)家預測戰績(jì)，劉洋華中雙色球126萬(wàn)!今年已2中2等，劉明智中5+1!066期中1等，劉景明中5+1累擒超千萬(wàn)2025-12-01
最新評論